替换质量流量计的方法
1， 让相应的炉管停止生产工作。
2， 关掉在气体流量计上直接的毒气流量计。
3， 排出流量计里的气体。（至少需要15分钟时间，否则的话则可以设置其流量直到真实流量为零。）
4， 用氮气清洗流量计。
5， 按下“Standby”按钮。
6， 替换流量计。此时千万不要忘记设置系统总线地址。如果看到两个绿灯亮了，则说明连接是正确无误的。
7， 排掉流量计里的气体。
8， 用氮气清洗新的流量计30分钟，观察气体流量读数是否正确。
9， 运行“Pnittest.prz”工艺并检测连接协议。如果一切都正确无误的话则可以开始重新生产了。
完成整个程序大约需要2个小时的时间，并不需要全程关注。如果抽气泵和清洗可以正确运行的话，程序会自动完成任务。
无毒气体流量计排气步骤
1， 确保已经关掉了流量计的供气。
2， 在Cesar菜单上，进行设置：manual\gas\<gasname>\Volume=Maximum，待气体流量读数下降为零后，再等待几分种的时间。
有毒气体流量计排气步骤
1， 确保已经关掉了流量计的供气。
2， 在Cesar菜单上，进行如下设置：manual\scrubber\switch=on。
3， Manual\gas\<gasname>\enable=on。
4， Manual\gas\<gasname>\<gasname>/N2=Toxgas.
5， Manual\gas\<gasname>\Tube/Vac=to pump。
6， Manual\gas\<gasname>\Volume=Maximum。
清洗有毒气体流量计步骤
1， 确保已经关掉了有毒气体流量计的供气。
2， 在Cesar菜单上进行如下设置：manual\srubber\switch=on。
3， Manual\gas\<gasname>\enable=on
4， Manual\gas\<gasname>\<gasname>/N2=N2。
5， Manual\gas\<gasname>\Tube/Vac=to pump。
6， Manuall\gas\<gasname>\Volume=Maximum。