大家好，本人使用的是JENA公司LIA20增量式光栅尺，栅距20微米，精度等级正负1微米，分辨率0.4微米（经GALIL卡四倍频后为0.1微米）。

现在测试中发现问题是，比如，从光栅读数为0的位置走到光栅读数为2mm的位置，再返回光栅读数为0的位置，反复如此。如果使用伺服电机带动其运动，那么相邻两次回到光栅0读数时的位置在激光干涉仪中的数值可能会差正好20微米（或者是40微米、60微米），大概隔个几次就出现一次，而且无论速度快慢和距离长短，都有此问题。但是如果用手代替电机带动丝杠，则没有问题。

开始怀疑是不是电机引起的什么干扰，但是用伺服电机带动下，反复测50mm的两个Z相信号间的脉冲，则一直为正常的50万个脉冲，这样看来读数正常，电机似乎又没有影响。

另，光栅外壳上的警示灯在停止状态时也比较亮，不知是否有影响。

十分疑惑，希望能给我一些建议，感谢大家！