请问大家,我用增量式光栅尺做位置反馈,用的伺服电机,使运动平台的垂直轴从0到30mm之间来回定位运动,结果每次都能定位在光栅显示的0.4um误差范围内,但是用千分表测量出来却差几丝,而且发现垂直轴的运动范围是一直在慢慢地向上挪动,在下面打表,是越来越小,在上面打表,是越来越大,而运动平台的水平轴却没有这个问题. 想请教大家一下，可能是啥原因呢,谢谢~