检测内容:
将晶片(Die)从晶圆(Wafer)上自动取放到料带上,并准确放置。
检测要求:
通过视觉定位和引导,将晶片从晶圆(Wafer)上自动取放到基板上;速度:50ms/pcs。
系统说明:
晶圆上的单个晶片面积非常小(约0.078平方毫米),数量极多,且位置不固定,因此对传统装片机的电机走位精度、工作稳定性和速度提出了非常高要求。传统装片机存在以下几个重要弊病:
* 走位不准:因为晶片切割及晶圆贴膜等原因很容易造成晶片在晶圆上位置分布不均。
* 晶片浪费:晶片在晶圆上呈圆形分布,采用传感器定位边界的方法势必会造成边界定位不准而致使一些晶片拾取不到,从而在晶圆上残留一些晶片。
* 操作较为麻烦:由于机器以固定步距及方向行走,所以晶圆与电机的水平一致性要求非常高,极小的角度偏差都会导致累加误差过大,这就要求操作员在每次换料时耐心的将晶圆与电机位置调到最佳,而且每次开始时都需要操作员手工进行晶片对位。