半导体制造中测量和检查技术概述 点击：213 | 回复：0
发表于：2008-04-14 13:48:46
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工艺诊断控制（PDC，Process Diagnosis Control）意味着半导体在线监测的测量工具。通常，它包括晶圆检查设备、SEM（扫描电镜）、CD SEM（临界尺寸扫描电镜）以及电子束检测和检查设备等。这些设备能够提供的精确和灵敏的结果，帮助工艺工程师发现缺陷并及时监测工艺变化，同时提醒工程师迅速采取行动以缓解工艺质量控制的压力，避免不必要的晶圆报废，降低生产成本，缩短周期。
图1显示了PDC在半导体晶圆工艺中的地位。
相关型号资料：57C71C70T T1C2C21N1HCG181J BXA3-12S12-F 43p504500k EPH12R008
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