直线马达在半导体方面的应用 点击:338 | 回复:8



yyymyy

    
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发表于:2008-03-13 16:24:00
楼主
大家一起讨论一下,在中国有哪些公司在应用直线马达.大家一起顶一下.



波恩

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发表于:2008-03-14 08:23:00
1楼
机床,测量机。

yyymyy

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发表于:2008-03-14 08:47:00
2楼
能告诉我公司名字吗?

踏沙行

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发表于:2008-03-14 14:13:00
3楼
能告诉我公司名字吗?


呵呵,用的很少。只有科研院所和大学有部分使用了。但真正厂家用的很少。

不过在上界国际机床展上了解到,目前北京有一厂家的流水线用直线电机。

最终设备厂家用的很少。

波恩

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发表于:2008-03-15 08:15:00
4楼
半导体设备行业不了解了.

沧海一黍

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发表于:2008-03-15 12:24:00
5楼
半导体行业里用到的DD最多,无论是前道光刻还是后道封装测试的机器中,用一般伺服或步进带丝杠也比较多,但DD维护方便,而且排除机械磨损和误差,只要永磁刚和线圈不坏,反馈系统正常,一般很少出问题;考虑到半导体行业以硅芯片加工为主,机械上的细小铁屑和传动系统中的油污会对芯片和辅助材料产生质量上的影响和损耗,所以一般尽可能避免使用这些机械部件在芯片主要移动的空间,一般用DD的多,只是半导体设备比较特殊,很多是非常规器件,都要特殊制作.

I小龙

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发表于:2008-03-16 13:12:00
6楼
直线伺服听说有一段时间了,但也总不知道一般应用于什么行业,或那里有使用成功的案例。

控制控制

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发表于:2008-03-16 14:34:00
7楼
有很多成功案例的,只是你还没找到而已,就看你用在什么行业上了,机床,半导体,电火花加工等都有应用,有部分是用在特殊场合.

yyymyy

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发表于:2008-03-17 15:30:00
8楼
我是直线马达的生产厂家以后大家有什么需求请联系我

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