求教：压力测量时用的传感器芯片 点击：4010 | 回复：45
发表于：2005-06-30 18:02:00
21楼
请文明发言!
版主的话：
周公： (2004-4-26 17:02:00)
工控论坛是一个开放式的技术研讨的园地， 所以希望大家爱护它、支持它。发帖回帖时务必注意以下几个问题：
1. 发帖时能写一个言简意骇的标题，直接说明主题，这样能吸引注意力，也不浪费大家时间。
2. 也不要发太笼统的提问，最好单刀直入，就事论事，不要把技术问题扩展成学术问题，因为大家在网上的时间有限。做方案也不是那么简单的事情，至少需要应用的环境、投资大小、使用对象许多因素。我的感觉：太简单和太复杂的问题，回帖会很少。当然，学术方面的见解如前景、趋势、对某问题的概括论述等大家是很需要的，各位有时间尽管发表，即使是转帖也欢迎。
还有一类比较基础的问题，如三极管的引脚判别或者数电、模电书上就有的内容，还是最好看书解决，不会把学过的都还给老师了吧。网络虽然快捷，但它还不能全部取代书面信息。查资料、了解基本参数应该是技术人员的一个基本功。
3. 大家手头最好有几本专业杂志，它们都有相关产品广告，还可能会提供货源。此类查询，请发相应版面。
4. 不允许纯广告、解密、交换授权等内容的存在，一经发现马上删除！凡是涉及政治、特别是背离现行政策的、不文明的语言不要让版主看见，本版不欢迎较劲的来往，这些在本版留不住。
说多了些，为的节约大家以后的时间。我们将热心为大家服务，欢迎大家常来！
发表于：2005-07-25 15:06:00
29楼
上面的朋友讨论了这么多，
为什么都没有提到溅射薄膜压力传感器
其性能和优点也是有目公睹的
在很多高要求场合，国人也选用了溅射薄膜压力传感器。
温度范围广：-193—300介质温度，压力变送器，。
环境温度在-85—175度下长期工作精度可以做到0.08级，国人自主开发的溅射薄膜压力传感器也具备了比蓝宝石更优越的温度性能。
而且其长期稳定性能极佳。
其缺点在于目前本公司最低能够生产的溅射薄膜压力传感器只能做到100KPa,要做到30KPa,在工艺上相当困难，成品率太低，一般不生产，但是研发已经成功。
溅射薄膜压力传感器，和蓝宝石比在温度上不逊色，在量程上是100KP比蓝宝石低，耐振动，抗过载耐冲击上性能比蓝宝石有所优良，但是在响应频率上始终不如扩散硅，也不如蓝宝石，其响应频率大概在0.2微秒以上，比扩散硅和压电式压力传感器差了太远，压电的都到了几百兆，但它还是适合动态测量。
溅射薄膜压力传感器耐腐蚀性能好，一般的腐蚀场合是没有问题
遇到盐酸和氢氟酸就不行了，必须做内衬底才能用。
国内真正的溅射薄膜压力传感器专家，说实在的，其他的厂家，包括北京的，哪里的，都是进口英国和美国的芯片在吹嘘我们的国人。
微末之言，请大家指点。
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