真空镀膜机镀膜是指在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜机镀膜方法有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

真空镀膜机详细镀膜方法：

1.使用前仔细检查各控制仪表、阀门、开关等，使之都处于关闭的位置。

2.合上总电源，观察电源是否有缺相，接通各系统的冷却水。

3.接通压缩气源。

4.启动维持泵，开启扩散泵加热电源，此时粗抽阀处于关闭状态，扩散泵加热约90分钟后便可以进行镀膜生产程序。

5.进行手动操作镀膜：将手动/自动按键置手动档位，选用工件架，装好钨丝、铝丝及镀件。将工件架推进真空室并关紧大门，使真空室顶部后行程开关处于闭合状态，按机械泵开按钮，启动机械泵，按动粗抽阀开按钮，此时真空室进入粗抽程序。当真空度达到5×100帕时，按“前置阀”，再按高阀开按钮，此时进入精抽程序。当真空度达到6×10-2帕时，即可进入镀膜程序。本设备采用先进的跳步式蒸发，其过程是：首先通过小电流使铝丝达到开始熔化界限，紧接着通过大电流使处于熔化状态下的液态铝迅速升华蒸发（两次蒸发过程的电流和电压都可通过位于机架下面的调压器旋扭进行微调节）从而达到减少飞铝和达到更佳的镀膜效果。按蒸发器开按钮，通过观察窗观察铝丝融化情况，待铝丝完全蒸发完毕后，关闭复合真空计、精抽阀、机械泵，启动充气阀至真空室充气完毕，取出镀件，整个镀膜生产程序完毕。由于转架在真空镀膜过程中是自动启动的，用户只需要根据镀膜工艺去调节位于面板上的带动转架的调速旋钮，调节至适当的转速即可。

注意：在整个过程中，机械泵、精抽阀以及蒸发的启动所要求的真空度都可以根据用户自行调节（调节方法请参考《复合真空计使用说明书》）

6.打开真空室，交换工件，再次镀膜重复5步骤。

7.需全部停止镀膜时，将镀膜室抽至低真空，关真空计关扩散泵加热，待扩散泵冷却后，再关水，关维持泵，关总电源开关。