STS（Surface Technology Systems Pls）公司是世界MEMS（微机电系统）领域等离子刻蚀与沉积技术的专家，其产品广泛应用于半导体与相关设备制造。STS集团目前经营领域遍及全世界30多个国家，通过完善的销售与服务体系，为全球各地客户提供优质解决方案。
目前，在STS的Pegasus DRIE系统高硅蚀刻率设备的设计中，盛世瑞恩的气体流量控制器以其优越的性能受到STS系统设计者的青睐，并成功应用在半导体设备中。在设计方案的选择过程中，STS曾经选用大量不同品牌型号模拟和数字信号的MFC（质量流量控制器）作了测试，尽管多数MFC的响应时间比STS原用产品要快，但绝大多数MFC在遇到设备内部产生的临时电磁场时，测量精度漂移很大甚至无法正常工作，而盛世瑞恩基于CMOSens专利技术的SFC系列却不受此影响，表现出良好的工作特性。

CMOSens®技术是所有Sensirion传感器模块和传感器系统的技术基础。半导体芯片和传感器技术的统一提供了高精密和高可靠性的系统解决方案。芯片上的传感元件同一个放大器、A/D 转换电路，共同构成了一个集成整体。由于单芯片多集成模块设计，CMOSens® 的传感器具有很强的抗电磁干扰能力，精度高，反应时间快，动态测量范围宽。这是传感器技术的重要优势。
CMOSens®流量传感器，由微型膜片上的传感元件，以及硅芯片上的线性和温度补偿的信号处理电路构成。膜片中央有一个可控加热器，在加热器的两侧沿气体流通方向有两个对称分布的温度传感器。热绝缘膜片上的加热元件，其温度始终高于周围温度。即使极小的气流通过，气流上下游的温度分布也会受到影响，从而得到精确的测量信号。由于膜片所采用的特殊技术，能感应到最小的热质量，使得热传感器可在1.7ms之内感应到流量变化，输出标准控制信号时间小于100ms,是目前世界上响应速度最快的气体流量控制器。
详情请登陆：[url=http://www.humidity.cn]http://www.humidity.cn[/url]