推荐3D-MEMS加速度与倾角传感器及高精度气压高度计,加速度传感器可以用来检测加速度,振动,冲击,倾角,运动等,绝压传感器特别适合于用来测高度,精度很高. 三维微电子机械系统（ 3D-MEMS ），是各种技术的创新性组合，可以将硅加工成三维结构，其封装和触点便于安装和装配，用这种技术制作的传感器具有极好的精度、极小的尺寸和极低的功耗。一个高级的传感器仅由一小片硅就能制作出来，并能测量三个互相垂直方向的加速度。 利用 3D-MEMS 技术， VTI 能为高精度倾角传感器加工出最优的结构，比如，为承受强烈震动的加速度传感器和高分辨率的高度计提供合适的机械阻尼。这些传感器的功率消耗非常低，这使它们在电池驱动设备中具有不可比拟的优越性。 应用 VTI 的 MEMS 技术生产倾角仪，其精度高于 1 arc minute ，能够满足最高级别的水平精度要求，而且做得比所有其他的 MEMS 技术要好。在微安培范围内，倾角仪与平均功率消耗相结合，使它适用于无线应用。 什么是VTI的3D-MEMS技术？ 单晶硅 理想的弹性材料：无塑性变形，承受力 70000 g 电容式感应原理 偏移的直接测量 基于电容器极板间距的较大变化 电容器的电容和电荷存储能力取决于两个极板的间距和板面积 A ： C = e0 * A/d 使用有限数量的电容器，就能得到高精度和稳定性，并且便于判断 低功耗 密封 降低了封装要求 可靠性：颗粒或化学物质不能进入到元件内部 对称性结构 提高了加速度计的零点稳定性、线性度和横向灵敏度 温度系数低于 0.2 mg/oC 非线性度一般低于 1% 横向灵敏度一般低于 3% 定制传感器 用于特定的灵敏度和频率响应 灵活的双芯片解决方案 真正的三维结构 较大的检测质量块和电容能够保证高性能，感应到较小的加速度 零点稳定性和噪声性能 三维敏感元 woody@sinocomopto.com 0755-83867308