美国埃米级电涡流位移传感器 SMU9000埃米级电涡流位移传感器基于独特的脉冲宽度调制器，融合了最新的表面安装组件和PCB设计。满足OEM对性价比的要求，并且能兼顾线性精度和热稳定性。并可根据客户需求定制。 特点： 超高分辨率，1埃 信噪音比：1PPM 精确度0.1%，通过计算机校准 小尺寸，易于集成；2通道小于5.5立方英寸 多种配置：9000单通道，9200双或平衡差分操作，3和4通道模型。 丰富的传感器选件 低功耗：<40mW/通道 主要指标： 使用于被测材料为铝、铜等导电材料。SMU9000 单双通道；SMU9200 为3～4通道 －分辨率1诶 －信号噪声比小于0.1% －量程：0～0.88mm/ 0～12mm －线性可优化到0.1% －频响：0～10KHZ 典型应用： 光学平台位置测量 半导体和光器件的研磨 半导体模板对齐系统 蒸镀系统 电子显微镜垂直轴定位 原子显微镜垂直轴定位 磁悬浮轴控制 部件研磨加工的精确定位 镜片控制 物质收缩测试测量 机械结构变形探测与测试 应用举例： 半导体圆晶片和模板（刻线）检测（凯盟的系统提供位置反馈信号将晶片或模板带入初始焦点，光学系统随后进行最终的聚焦。） 读写头制造，研磨板定位（通过3个双通道单端系统，监控读写头相对研磨板的位置） 飞机制造：动态铆钉高度检测 高精度3通道照相平台位置测量 高精度照相平板台高度位置测量 欲了解更多关于产品的信息，请访问真尚有公司网站 www.51sensors.com 联系人：江山