测量工业显微镜的测量精度直接影响检测结果可靠性，需定期校准以确保数据准确。校准过程需遵循规范流程，借助标准工具完成精度修正。

常用的校准工具包括标准量块、校准尺和网格板等。标准量块具有已知精确尺寸，通常精度达微米级，适用于线性尺寸校准；校准尺刻有均匀刻度，可验证不同倍率下的测量准确性；网格板则用于平面坐标精度的校准。

校准步骤需按流程操作。首先清洁镜头和载物台，避免杂质影响校准。将标准量块放置在载物台中心，调整显微镜至清晰成像。在软件中选择 “校准” 功能，按提示依次点击量块两端的刻度线，系统会自动记录实际尺寸与测量值的偏差并进行修正。更换不同物镜倍率时，需分别进行校准，确保各倍率下精度一致。

校准后需验证效果，使用校准后的设备测量另一标准件，检查误差是否在允许范围内（通常应小于 0.001mm）。建议每月至少校准一次，若设备经过搬运或维修，需立即重新校准，以保证工业检测中尺寸测量的精准性。