XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um   (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)

  Z 线性精度: E1=(1.8+5L/1000)um   (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头)

特征：

- 测量范围：450 x 450 x 150 mm或 450 x 600 x150 mm

- 50公斤承载力

- 亚微米的光栅尺分辨率

- 平台移动速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒

- 可选的X-Y无阻力线性马达驱动，平台速度400 mm/秒

- 误差映射：在XY平面非线性二维纠错

- 双重放大光学系统，固定镜头，内部放大1-4倍

- 可编程LED平台背光及同轴表面光照明

- 可编程多色（红、蓝、绿、复合白色）环形灯(PRL)选项

- TTL激光选项，具有自动ju jiao和扫描功能

- 三角和共焦激光位移传感器选项

- SpectraProbeTM  高分辨率彩色传感器选项

- 先进的图像处理性能，快速、某精某确、稳健

- 双通道，数字式，1.4兆像素的单色相机; 4:1的比例

- 次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel

- 独立的Anthro Cart Operator工作站，90 x 90 x128 cm;40kg

- 可选配一体式可调节高度的工作站活动臂及平台，上可放置平板显示器、键盘鼠标及周边设备

- 强大的测量软件和数据分析工具可供选择

- 平均无故障工作时间 MTBF ≥ 8,000 小时

Summit的应用范围包括：

半导体/电子

PCB板与Stencil

光罩

引线框，引线接合，柔性线路板，连接器

SMT元件贴装

锡膏/环氧数脂胶点

xin片载体和托盒

喷墨打印机墨盒

数据存储

磁盘介质基板

滑块和悬臂组(HGA)

Wafer carriers and row bar pallets

精密注塑和机加工件

模具和刀具

某医某疗设备

燃料喷射部件

手表组件