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NM-XY-100X纳米定位可以集成电容传感器微动平台吗？ 点击：326 | 回复：3



mmabc1

    
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楼主

NM-XY-100X纳米定位可以集成电容传感器微动平台吗？


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今夕信

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1楼

NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。由Super Invar（特殊钢材）制成，高于纳米级分辨率和重复性。  

   

概述

   

NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。高于纳米级的分辨率与重复性对弯曲机械装置的有限分析可以在100微米的范围内降低伴生角度的移动到25微弧度以内是一个集成了电容传感器的微动平台。有高于纳米级的分辨率和重复性。
特殊钢材的外壳(CTE  0.3ppm K-1, c.f. Al at 23ppm K-1)可以将温漂降低到最小，在纳米级是非常重要的。这种外壳拥有优秀的力学平衡设计。  

   

应用领域

   

◆

   

高精度显微镜；  

   

推荐控制器

   

NM3220

   

主要特点

   

◆

   

>100微米运动范围，高于纳米级分辨率；

   

◆

   

振荡频率>350HZ；

   

◆

   

0.005%磁滞、线性度；

   

◆

   

高带宽(>50Hz)响应时间短；

   

◆

   

现场扫描最优化；

   

◆

   

需要与NPS-Z-15A或NPS-Z-15H组成三轴系统；

   

◆

   

NM-XY-100A为特殊钢材外壳；NM-XY-100B为铝质外壳；

   


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shenzhenzsy

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2楼

NM-XY-100X纳米定位是可以集成电容传感器微动平台

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吝惜爱

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发表于：2016-02-03 17:06:57
3楼

NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。高于纳米级的分辨率与重复性对弯曲机械装置的有限分析可以在100微米的范围内降低伴生角度的移动到25微弧度以内是一个集成了电容传感器的微动平台。有高于纳米级的分辨率和重复性。
特殊钢材的外壳(CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al at 23ppm K-1)可以将温漂降低到最小，在纳米级是非常重要的。这种外壳拥有优秀的力学平衡设计。

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