摘 要

多线切割机是IC(集成电路)、IT(信息技术)、PV(光伏)等行业核心器件

基片制造流程中的关键装备。多线切割是目前最先进的切片加工技术，其原理是

通过金属线的高速往复运动把磨料带入待切割材料力n-r_区域进行研磨，将待切件

同时切割为数百或数千片薄片的创新性切片工艺。但多线切割机制造技术难度大，

其核心技术长期被瑞士、日本等国家的极少数公司所垄断，严重制约了我国半导

体照明、光伏、集成电路制造等产业的发展。开发具有自主知识产权的多线切割

技术及装备，已成为突破国外技术封锁和国内产业瓶颈的关键举措。本文以多线

切割机产品开发过程中的关键技术难题为主线，针对多线切割机数控系统关键技

术进行深入研究。

(1)根据项目研究目的、内容及要求，给出了项目实施方案和技术路线。依据

作者所承担的课题丌发任务，研究多线切割的理论基础和技术基础，指出了研究

的重点和攻克的难点，总结了多线切割机的国内外研究现状及发展趋势。

(2)针对切割线张力控制线问题，探讨多线切割机走线过程中影响线张力的各

种因素，提出一种机电一体化的张力控制策略，该方法用转矩电动机代替张力锤

施加张力，这种张力控制方法与传统的控制方法相比能极大地降低线张力波动的

强度。理论分析和实验结果都表明：该方法张力控制精度高、易于实现，而且断

线故障率低、张力调整方便。机电一体化张力控制的实现为多线切割机走线系统

的设计奠定了基础。

(3)针对多电机速度同步系统控制问题，采用机理建模方法，建立了张力电机

的运动学数学模型。全面分析了引起多线切割机走线系统稳定性各种不确定因素，

指出多线切割机同步系统是一个非线性、时变、多输出的复杂系统。针对走线系

统高速运行时数字PID控制系统存在的问题，提出多电机系统速度同步自适应逆

控制算法，该系统以主电机为参考模型，由一个系统辨识环节和一个自适应控制

器环节构成，引入虚拟模型自适应地调整控制器，使放线电机与主电机具有类似

的动态特性。实验结果证明：该算法能有效提高速度同步系统的稳定性、快速性

和精确性。

(4)针对排线控制问题，分析了接近开关限位排线方法的局限性，设计了无接

近开关的伺服电机排线系统机械结构，建立排线机构的凸轮传动数学模型，通过

对凸轮传动模型仿真研究，提出基于电子凸轮传动的排线控制算法，该方法用软

件方法为收线电机虚拟一个电子凸轮，该电子凸轮在收线电机的“驱动”下，实

现等效于排线动作的交替收、放卷功能，以此电子凸轮的“输出"作为控制量，

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