纳米平台的行程和精度大概有多少？-专业自动化论坛-中国工控网论坛

发表于：2015-04-02 12:08:04

楼主

纳米平台的行程和精度大概有多少？

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发表于：2015-05-28 23:53:16

1楼

NM-Z-15A是一个压电扫描柔性引导平台，该平台集成电容位移传感器。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。
其特点是高于纳米级的分辨率和重复性。这个平台是用来测量轴偏差极端微小角度偏差，用在扫描探针显微镜末端和其他不能容忍微小偏差的应用。

应用领域

◆

扫描探针显微镜；

◆

干涉测量；

◆

精密工程；

◆

计量；

推荐控制器

NM3110

主要特点

◆

>5微米运动范围，高于纳米级分辨率；

◆

振荡频率>3K；

◆

0.005%磁滞、线性度；

◆

现场扫描最优化；

◆

高稳定性；

◆

特殊钢材外壳；

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发表于：2015-06-17 09:55:21

2楼

NM-Z-15H是一个集成了电容传感器的纳米平台（压电扫描扫描柔性引导平台）。这个平台有一个中空的芯，是用来在中间放微小的样品或光纤。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。

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