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纳米定位平台对于负载的要求是否很高？ 点击：137 | 回复：2



lxm11024

    
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发表于：2015-04-02 12:06:24
楼主

纳米定位平台对于负载的要求是否很高？


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huannk

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发表于：2015-05-28 23:53:04
1楼

NM-Z-15A是一个压电扫描柔性引导平台，该平台集成电容位移传感器。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。  
其特点是高于纳米级的分辨率和重复性。这个平台是用来测量轴偏差极端微小角度偏差，用在扫描探针显微镜末端和其他不能容忍微小偏差的应用。  


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shenzhenzsy

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发表于：2015-06-17 09:55:52
2楼

NM-X-5A纳米定位平台尺寸小，毫秒级响应时间，应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量，高刚度，可以用于极端高的带宽环境。 
电容传感器提供了高于纳米级的分辨率，实现在6微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑，运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器，NM-X-5A纳米定位平台可以实现高于纳米级的响应。 

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