真空泵组的腐蚀危机 点击：1022 | 回复：2
发表于：2006-03-28 10:29:00
楼主
我公司使用的真空泵组是用于抽取一般大气使真空度保持在10Pa以内的量级还有就是抽取等离子体与PCB（多种板材）处理反应后的混合气体。问题就是在于对处理后的气体的抽取过程中会有严重的真空泵组腐蚀的现象和罗茨泵卡死的现象。这种问题的产生严重的影响到了我们设备的使用，以及工艺处理的效果。我们的真空泵组是采用朗禾公司的2005-1款干式真空泵（无油干式真空泵HL-30PH + 罗茨泵ZJ-150）。我来谈一下关于泵组的腐蚀和罗茨泵转子卡死的两个现象了。腐蚀，主要是对于前级泵的腐蚀和罗茨泵转轴的腐蚀，我们在抽取处理的气体中含有大量的酸性腐蚀性气体，例如，氟化氢等强氧化性的气体；卡死，主要是对于罗茨泵转子的卡死，在抽取处理气体是由于气体中含有大量的高分子气体，这种气体在工艺结束后真空泵的温度降到某一点时（这类气体的凝结点）气体就会凝结在罗茨崩转子的表面，是一种胶状物质常温下就是固态了导致系统下次启动时的罗茨泵转子的卡死现象。对此两个问题我公司还没有个完全可以彻底解决的方案，希望看过此帖的工程师可以帮着寻找解决方案！我在此先谢谢留言的热心人士了，我的邮箱：hoegs@163.com QQ：24654923 MSN：hoegs@21cn.com
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