美国BROOKS质量流量控制器碰到的问题 点击:894 | 回复:3



ccj

    
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发表于:2005-06-05 19:52:00
楼主
美国进口的BROOKS质量流量控制器在使用中碰到一些问题 希望各位高手指点一下。 1.没给控制信号,流量突然显示一个很大的值,实际无流量。 2.小流量调节时,突然一下流量很大 多次调节PID无效



闵先生

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发表于:2005-06-06 23:26:00
1楼
干扰。

ccj

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发表于:2005-06-27 15:34:00
2楼
是输入还是输出干扰呢?? 谢谢!!

brooks instrument

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发表于:2005-10-19 20:11:00
3楼
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