MOCVD金属无机化学气相聚积（MOCVD），是罗克韦尔公司于1968年提出的制备化合物半导体单膜的新技巧。该装备设置精密机械、半导体资料、真空电子、流体力学、光学、化学、计算机多学科集成，是一种高度自动化的、贵重的、技巧集成的高端光电公用装备，紧张用于GaN（GaN基半导体资料的内涵发展和蓝色、绿色或紫外发光二极管芯片的制作）光电子工作中最有远景的公用器件。

在LED芯片天生以前LED内涵晶片发展的基础底细道理是：在加热到得当温度的衬底衬底（重如果蓝宝石和、 SiC、 Si）上，节制气态物资InGaAlP被输送到衬底的外面以用于发展，生产特定的单晶膜，如今，LED内涵片发展技巧紧张选用无机金属化学气相聚积（MOCVD）办法。
内涵晶片技巧的胜利需要如下三个前提：
1.准确节制装备 MOVCD很紧缺，由于它具备高成本，掩护周期和配件的筹备。

2.节制内涵道理，资料的增加需要三个基础底细技巧：物理、资料科学和阐发技巧，要节制这些资料，资料的增加能够具备必定的才华。

3.坚持不懈的试验精神，延长后果需要坚持不懈，由于除基础底细阐发，查询拜访和记录后果外，阐发LED芯片的后果，需要耐烦和意志。

LED芯片生产过程中LED内涵片的生产过程比拟繁杂：
1.内涵晶片实现后，随机抉择每一个内涵晶片的9个点停止查验，好的产物符合请求，其他是有缺点的产物（低压偏差，短波长或长波长等）。
2.优质产物的内涵晶片应为电极（P极，N极），接下来，经由过程激光切开内涵晶片，而后100％分叉，并依据分歧的电压，波长和亮度停止全自动反省，以组成LED芯片（方形芯片）。

3.终极，停止目视反省以打消电极的缺点或磨损，这些是后者的晶体，此时，蓝色薄膜上的芯片不符合输送请求，这些芯片成为四周面或件，缺点产物的内涵晶片一样平常不用于方形芯片，它们间接用作电极（P极，N极），不需要分类这些是如今市场上的LED晶圆片。