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用阿贝判据研究显微系统的分辨率

工业仿真 浏览:31 回复:0 收藏

Malin150  2025-03-24 09:14

摘要
 
显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。

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1. 案例

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在VirtualLab Fusion中构建系统
 
1. 系统构建模块

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2. 组件连接器
 
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几何光学仿真
 
以光线追迹
 
1. 结果:光线追迹
 
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快速物理光学仿真
 
以场追迹
 
1. NA=1.4时的光栅成像 

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2.  NA=0.75时的光栅成像 
  
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3. NA=0.5时的光栅成像 
  
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文件信息


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