随着全球能源危机和环境问题的加剧，人们对清洁能源的需求日益增加。氢作为一种来源丰富、绿色低碳、高效的应用广泛的二次能源成为了人们关注的焦点之一。在能源领域正逐步成为全球能源转型发展的重要载体之一，燃气轮机是一种常见的能源转换装置，将化学能转换为机械能。

氢气作为燃气轮机的燃料用清洁的氢燃料通过使用升级改造后的燃气轮机发电，空气和氢气分别经压气机与泵增压后送入燃烧室，燃烧并释放出热能。燃烧所产生的燃气吸热后温度升高，然后流入燃气轮机膨胀做功，产生的废气排入余热锅炉进行热交换，提升余热锅炉中的水温后，经烟气脱硝系统排入大气。在所有运行方式下需要了解控制调节、监视和报告机组状况。通常控制系统包括启动控制系统、转速控制系统以及温度控制系统等。主要功能有实现机组启动（含盘车、清吹、点火、暖机等）和停机的动作过程；实现按需求进行加、减负荷；调节被控制转子或轴转速；调整燃料控制系统或空气质量流量控制系统以获得所设定的透平温度值；控制其它关键参数（如温度、压力、输出功率、推力、间隙等）等。

因而燃气轮机主要通过控制进入燃气轮机燃烧室的燃料流量来改变燃气轮机的运行工况为监测燃汽轮机氢气质量流量和控制工采网推荐美国Siargo MEMS气体质量流量控制器- MFC2000系列流量控制范围从几毫升到200L/min的流量选择。MFC2000质量流量控制器采用SIARGO公司专有的MEMS流量传感芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种独特的时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和可靠性得以大幅提高。时域流量传感技术还提供了更好的线性度,并使温度效应大幅降低。