在纯水系统中，除了能用在线电导率或电阻率来在线监控出水水质外，PH值的测量通常也被作为诊断纯水是否有有酸或碱污染的一项工具，当空气或二氧化碳侵入纯水生产或者运输系统时，将导致pH值的改变。因此保证纯水的PH测量结果的准确性对衡量超纯水机的出水水质十分重要。而正是由于高纯水易吸附空气，且高纯水是一种优良的绝缘体，因此在测量pH值的时， 以下因素可确保高纯水的PH进行准确的在线测量。

  1、密封；
   为了防止空气中的二氧化碳等物质对样品的污染而造成的测量值偏低，所以样品必须是密封的。
   流通式保护套必须有良好的屏蔽性能（如不锈钢）以防止电干扰和电势的影响；

  2、慢；
   样品的流速必须是低而且稳定的，因为流速过大会产生静电效应。

  3、其他；
   超纯水是一种优良的绝缘体，因此在测量pH值的时候很难让pH计的测量电极和参比电极之间导通。这样在测量用的电极电路中产生极高的电阻，会使得测量的电信号噪声变大，电极的反应变慢，并产生静电双电层。这种静电双电层在纯水流经塑料管路时很常见。它产生的电场会使得测量得到的电阻比实际值要大。这样测量得到的pH数值是错误的。
   因此测量超纯水的PH一定要用分离电极，而且灵敏度要很高，这样对测量的干扰就很少了，才能测得相对准确的数据，因为超纯水的纯度很高，因此测量时最好要在线测量，精确度最好是0.01的。