600W自动匹配器

由国内外提供技术，国内生产的GMPOWER品牌射频自动匹配器，广泛适用于等离子刻蚀体、镀膜、清洗、等离子体增强、感应加热以及太阳能制造设备PECVD制造中，具有功率覆盖范围大（50W-600W）、匹配时间短（≤3秒）、指示功能全、操作简单等优势，可通过数字接口实施计算机数据采集和控制，轻松实现时入射功率、反入射功率、直流偏压等的精确测量。该匹配器与电源完全独立，可配置AE、COMDEL、MKS等多家品牌的射频电源，最大限度节约射频系统成本.

产品描述

*功率：600W、1.5KW、3KW、5KW 频率：13.56MHz

*系统采用高速配算法，即使系统处于高Q值也可在接近匹配点时减速，达到精确匹配效果

*标准配置采用可调的L型匹配网络，满足绝大部分负载要求，也可根据客户负载阴抗设计配置匹配网络，实现自动匹配

*射频接口可选择同轴输出,铜带输出

    600W无显示  

电源输出   AC180-240V 50Hz   冷却方式   强制风冷  

输出电流   0.5A   机箱尺寸   390mm(长）*260mm（宽）*132.5（高）  

射频功率范围   0-600W   重量   8KG  

射频工作频率   13.56MHz          

射频输入接头   N型或UHF型          

射频输出接头   N型/UHF型/铜带型          

用户接口   DB15针接口，采用RS232、RS485通讯协议