在使用压阻式压力传感器之前,我们需要对压阻式压力传感器工作原理进行了解,这将有助于我们对压阻式压力传感器的利用。压阻式压力传感器,具有精度高、工作可靠、频率响应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、结构简单等特点,在多领域有重要的应用。下面我们来看看压阻式压力传感器工作原理。
压阻式压力传感器工作原理:
压阻式压力传感器利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。
当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化,再由桥式电路获得相应的电压输出信号。
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