很多高精密半导体设备应用需要达到亚纳米的性能,ACS在以色列、欧洲、美国和韩国都有这类高端应用,比如美国应用材料公司。这类应用的典型配置是高精密Sin-Cos光栅反馈(ACS控制器可以达到65536倍细分)、无铁芯直线电机、气浮导轨和线性驱动器(ACS自己的)。上图中采用的雷尼绍的Tonic光栅尺。
http://www.renishaw.com.cn/zh/incremental-optical-linear-and-rotary-encoders-now-offer-1-nm-resolution-and-ultra-low-positional-noise--11195
雷尼绍是测量和光栅技术的全球领先者,其成功的TONiC?增量式光栅产品系列现已推出全新的1 nm和2 nm分辨率选项。直线光栅和圆光栅的全新高分辨率选项,包括标准TONiC读数头和新型Ti20KD (1 nm) 或Ti10KD (2 nm) 接口;接口采用高细分率,可达到更高的分辨率。此外,TONiC采用优异的光度测量的低噪声光学设计与Ti20KD/Ti10KD接口内的高级滤波功能相结合,将抖动(报告位置上的噪声)降至0.51 nm RMS的超低水平。