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发表于：2008-11-10 18:36:14

楼主

本来是做PLC调试的，年前老板投资建设300吨多晶硅项目，就把我调去帮助建设。一段时间下来，对多晶硅项目，尤其是739的300吨工艺方面有了一定的了解。想到在工控网上还没有发过什么帖子呢，就从今天起把每天的要点发上来，呵呵，大家一起讨论啊！

1.其实现在项目已经处于调试状态了，今天先说说，硅芯装炉吧。

硅芯是一根长大约200MM的，有10MM粗吧，是从别的多晶硅厂家花钱买的哦，呵呵1000多一根呢，呵呵。

在这个硅芯腐蚀装炉车间涉及的设备工艺还是比较的多和零碎的。

今天上午准备了20根的硅芯棒，外形就和钢筋差不多的，通体发黑，一头比较大，突出的，另一头圆的。但不是很直的，下面还要讲到硅芯拉制就知道了。

这个工序有两个步骤要做：1.把大头部分切个 V 型槽出来（是给在还原炉上做硅芯搭接的用的），这个地方用到的切槽设备说来比较的搞笑，是一台切，磨珠宝用的一台小切割机吧，220V单相电机，一个类似于砂轮片的切片（但是光滑，无颗粒的那种切片），下面就是切 V 型槽了，呵呵，全手工操作，看下来觉得应该是很简单的，但因为料非常的昂贵，所以担心虽简单，但员工未必在短时间内能够搞定。很快20根就切完了，下面就是打磨，就是把另一头磨掉一点，好放在石墨夹中，同样是使用这台设备。磨完，只要能基本插到石墨夹中就好了。 2.其实就全是清洁了，保证干净，呵呵，因为是为了测试还原炉的硅棒击穿，所以还有腐蚀酸洗部分还没有做的，等调试再来补上。

硅芯处理好了就是装炉了，这里要说的是，9对棒的炉，6根一组，就是一相，用两个连接片，炉内用搭接硅芯，呵呵，好了，明天看击穿试验吧，据说是还原中最重要的一部分的。

还原电气部分也在击穿部分给大家说说。呵呵。

2.接着昨天的，继续说。

硅芯细棒进行切槽，打尖后，就把18个棒插入石墨夹具中，就是在还原炉的底盘上的电极，（说明一下还原炉相关系统，还原炉是个罩式的炉子，里面要有1080度的高温，通过可控硅调节电流，从而加热的过程中使三氯氢硅和氢气混合从而沉积在硅芯上，是硅芯棒料逐渐的长大，大概在10天左右就达到差不多的尺寸。其实在还原部分最重要的就是电气部分，分击穿和加热。

今天已经做完击穿试验了，比较的顺利，但只是一个炉子而已，想想应该其他的炉子不会有什么问题的，是一次成功击穿。

今天写的有点乱，就写到这里吧。明天可能要进行硅芯拉制了，去看看。是通过伺服电机来控制速度的。明天再继续吧，今天有点累了。

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