空气中微粒的洁净等级对照
空气微粒洁净等级 （每立方米，每立方英尺）微粒的最大浓度限值
ISO14644-1 FED STD 209E CLASS Number of Par Cubic Meter by Micrometer Size
ISO Class English Metric 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 0.5um 5um
m3 m3 m3 ft3 m3
1 ISO1 10 2
2 ISO2 100 26 10 4
3 1 M1.5 1SO3 1,000 265 106 35
4 10 M2.5 ISO4 10,000 2,650 1,060 10 353
5(百级) 100 M3.5 ISO5 100,000 26,500 10,600 100 3,530 29
6(千级) 1,000 M4.5 ISO6 1,000,000 265,000 106,000 1000 35,300 293
7(万级) 10,000 M5.5 ISO7 10000 353,000 2,930
8(十万级) 100,000 M6.5 ISO8 100000 3,530,000 29,300
9 ISO9 1000000 35,300,000 293,000