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发表于：2008-02-22 13:14:00

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製程管路系統

可透過網路通訊介面方式與現場監控器(PLC Controller)連線並達到監視或控制功能。

A.    製程冷卻水系統 (PCW)：監控製程冷卻水設備運轉狀態，包括泵浦，水槽液位。

B.  空壓機之運轉狀態及CDA之壓力、露點顯示

C.  高低真空泵之運轉狀態及真空度顯示

D.  製程廢水收集設備：監視製程廢水收集系統狀態，包括泵浦，水槽液位，洩漏指示。

E.  廢化學品收集設備：監視廢化學品收集系統狀態，包括泵浦，水槽液位，洩漏指示，高溫警報。

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