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EMPEROR

    
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发表于：2007-05-30 11:27:00
楼主
大家好，本公司因要做旋涂机，想采购一种伺服电机，用于涂布光阻，望大家能向我推荐。

电机要求：
 
1：垂直安装，负载总质量大约500克，估计不超过800克。

2：空心主轴，主轴约长100mm，电机本身带有3个气嘴，可以与真空源连接。主轴的空心可以充当真空气路。

3: 正常运行过程中，速度首先从零加速到一个较低的速度，约不超过1000rpm，几秒钟后加速到较高的转速。每个运行周期一分钟左右，每个周期内可能设置2到4个速度段。
 
4: 转速、加速度及减速到零时的减速可控制。

5：最高转速：大于等于6000rpm,最好能达到8000 rpm；
 最高加速度：30000rpm/s
 转速准确度：±5rpm
 精度：      1rpm
 功率：      40～60W

6：电机主轴与转盘的连接安装方式不太清楚，可否推荐? 

7：另外请介绍气嘴的作用及连接方式？

   谢谢大家的合作。
                                            胡先生
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波恩

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发表于：2007-05-30 13:11:00
1楼
1：负载转动惯量是多少？
2：这样的要求过于专用，除非有现成的专有产品，否则必须定制，成本不低啊，还得看有没有量！
3，4：没什么，小意思。
5：高转速问题不大，准确度和精度似乎不协调，±5rpm的转速准确度不难实现；40～60W与30000rpm/s的最高加速度，需配合1考虑，未必不是问题。
6，7：楼主是应用方，如果连楼主都不知道这些，想做这事情看起来也就不那么容意了。
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踏浪而来

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发表于：2007-05-31 08:53:00
2楼
楼主的要求还是比较苛刻的，你要得空心轴还可以作为真空气路那就比较难了。空心轴和气源怎么连接啊？我手里有一款空心轴伺服的资料，空心轴的直径最大为40毫米，他的转速可达5000转。这种伺服的价格肯定是相当贵的，因为它是特种伺服啊！
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EMPEROR

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发表于：2007-05-31 10:26:00
3楼
to两位楼上：
    1。负载是一片8in的晶圆，质量约为500g，因此惯量约为4301.1gcm2。圆盘直径约为200mm，质量约为300g，因此惯量约为2500gcm2。总惯量约为6800gcm2。
    2。定制可以，价钱可以商量。至于量，先期采购少量，等实验成功，肯定是批量。
    3。我不是应用方。
    4。谢谢楼上的回复。
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EMPEROR

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发表于：2007-05-31 10:44:00
4楼
另外，我有一组相关图片及结构图，但不知这儿怎样发。
望指教。
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发表于：2007-05-31 17:25:00
5楼
下面引用由emperor在 2007-5-31 10:44:00 发表的内容：
　　另外，我有一组相关图片及结构图，但不知这儿怎样发。<br>望指教。
--------------------------------------------------------------------------------------------
传给我，我帮你发吧！要100分以上。wdo_1000@126.com
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发表于：2007-05-31 17:36:00
6楼
知道你干什么用了，通过真空，吸起晶圆，通过高速旋转使涂料辐射均匀？用直流无刷电机。
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REDCYBER888

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发表于：2007-05-31 18:16:00
7楼
与我联系：0755-33643798/33643784。
刚好有此无刷电机及驱动器：6000RPM/3段速/加速度可调。
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波恩

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发表于：2007-05-31 19:43:00
8楼
做晶圆加工设备，不错！不过“6800gcm2”的总惯量已不算小了，“40～60W”功率电机未必能胜任其加速要求，不知有没有可参考的先例。

其实这样的要求未必一定要用伺服，“通讯网”的建议：“用直流无刷电机”值得考虑。中空轴的设计，如果用伺服，则必须选用中空轴的编码器，成本也比普通编码器高不少；如果用直流无刷电机，就不必考虑特殊编码器问题，一定可以省一些成本。

估计定制是免不了，建议咨询北京和利时电机，或珠海运控。
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EMPEROR

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发表于：2007-06-01 11:09:00
9楼
十分感谢楼上诸位的解答。
的确，在两套样品方案中，一套采用伺服，另一套采用直流无刷。
另外，6800gcm2的惯量是极限值，正常工作条件下是4200gcm2。因为暂时是处于实验阶段，所以两套方案都可采用，再来进行比较优劣。6800如果太大了的话，就先考虑4200也行。
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