磁控溅射镀膜生产线 点击：3235 | 回复：27
发表于：2007-01-25 10:45:00
楼主
磁控溅射镀膜生产线
项目简介
真空镀膜方法是近代表面处理与改质技术的主流。已被大量应用在光电、半导体、光磁储存媒体、被动组件、平面显示器、微机电、光学组件、金属切削刀具及各类机械耐磨、润滑及包装、生物医学材料上。“易控(INSPEC)”最近在国内一专业真空镀膜设备及玻璃机械设备制造公司成功应用。该公司水平磁控镀膜生产线采用溅射的方法在玻璃上成膜， 广泛用于镀制各种建筑玻璃、电子工业IT0透明导电玻璃、冰箱玻璃和高反射镜等。该线吸收欧洲生产线的先进技术和工艺，并配有三菱FX2N-PLC和触摸屏、工控机，整个过程完全实现自动化控制，使镀膜生产具有很好的工艺重复性,更适合工业化大批量生产的需要。该生产线技术先进，融合了独特的操作人性化、使用简便化设计理念，在用户群体中得到了充分的肯定。
系统设计
系统设计的特点
1、生产线采用PLC全过程控制，并配有彩色显示屏，显示镀膜工艺过程参数等；
2、实时动画形式显示监控磁控镀膜生产线的工艺流程。磁控镀膜生产线的设备是密封的，生产时看不见玻璃在真空室里面的运行情况，通过“易控(INSPEC)”通用组态式监控系统形象的动画功能来实时反应玻璃在密封真空室里的运行情况，让现场操作工对整个生产流程了若指掌。
3、系统功能丰富：包括手/自动模式选择、工艺方案选择、数据检测记录、故障报警记录、自动诊断保护、操作权限限定等等。
上位监控系统采用的是“易控(INSPEC)”通用组态式监控系统，其与下位控制系统的三菱FX2N PLC通信方式采用RS-232串行通讯方式。LG变频器及真空泵、抽气阀等都是由三菱FX2N-PLC来控制，而PLC通过一个扩展的232BD模块与计算机相连。
软件系统完成的主要功能
1、以实时动画形式监控磁控镀膜生产线的工艺流程，监控电机、真空泵、抽气阀等部件的运行状态；
发表于：2007-09-12 22:02:00
18楼
一下没注意,易控也在做 磁控溅射,呵呵
国内某高校,863立项的 磁控溅射的自控是我做的,
技术来源是英国Teer.
用那个软件就不说了,
只是 目前的形式来看,Teer派人调5个月,解雇了2个人,
第一版我在现场调4周,
第二版我在现场调1周.
最终结果是 镀膜质量比Teer的还好,
一些归功于 该高校试验室多年的工艺积累,
还有秦人梯尔,亚特梯尔 这些年为国内 磁控溅射行业做的巨大贡献.
软件本身就万把块钱,"我"的技术服务是软件造价的10倍.
所以其实用甚么软件都不是 大问题,问题如何把工艺实现,完善,提升直至超越国外同行.
如对我所使用的软件有兴趣,请自行在国产软件中比较辨别,
如对磁控溅射有兴趣(贵啊,超贵),可联系
西安理工大学 中英共建 磁控溅射实验室的负责人 蒋百灵 院长.
或者联系 秦人梯尔,亚特梯尔.
国内某高校,863立项的 磁控溅射的自控是我做的,
技术来源是英国Teer.
用那个软件就不说了,
只是 目前的形式来看,Teer派人调5个月,解雇了2个人,
第一版我在现场调4周,
第二版我在现场调1周.
最终结果是 镀膜质量比Teer的还好,
一些归功于 该高校试验室多年的工艺积累,
还有秦人梯尔,亚特梯尔 这些年为国内 磁控溅射行业做的巨大贡献.
软件本身就万把块钱,"我"的技术服务是软件造价的10倍.
所以其实用甚么软件都不是 大问题,问题如何把工艺实现,完善,提升直至超越国外同行.
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