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注册：2005年1月04日

发表于：2005-07-12 13:34:00

楼主

俄罗斯微电子传感器工业集团是以研制和生产微电子压力传感器和相关仪器为主的新技术企业，主要产品为MIDA系列硅-蓝宝石压力传感器。早在70-80年代，俄罗斯微电子传感器工业集团就对应变效应在异质外延半导体结构 --“蓝宝石上的硅”（SOS，Silicon-on-Sapphire）的特性，进行了深入的研究，取得了很多科研结果。利用这些科研结果和专利技术，生产出了一系列热工测量仪表。硅-蓝宝石这一测量技术，已在原苏联、法国、美国、德国等国家获得了专利。目前，MIDA公司正在研制新的产品，并不断完善已生产仪表的各项性能，尽全力满足工业、能源、运输、市政和其它领域的用户对测量压力方面的需求。工作原理和结构组成： MIDA系列压力传感器和变送器，利用应变电阻式工作原理，采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件，具有无与伦比的计量特性。蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成，不会发生滞后、疲劳和蠕变现象；蓝宝石比硅要坚固，硬度更高，不怕形变；蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性（1000 OC以内），因此，利用硅-蓝宝石制造的半导体敏感元件，对温度变化不敏感，即使在高温条件下，也有着很好的工作特性；蓝宝石的抗辐射特性极强；另外，硅-蓝宝石半导体敏感元件，无p-n漂移，因此，从根本上简化了制造工艺，提高了重复性，确保了高成品率。用硅-蓝宝石半导体敏感元件制造的压力传感器和变送器，可在最恶劣的工作条件下正常工作，并且可靠性高、精度好、温度误差极小、性价比高。表压压力传感器和变送器由双膜片构成：钛合金测量膜片和钛合金接收膜片。印刷有异质外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片，被焊接在钛合金测量膜片上。被测压力传送到接收膜片上（接收膜片与测量膜片之间用拉杆坚固的连接在一起）。在压力的作用下，钛合金接收膜片产生形变，该形变被硅-蓝宝石敏感元件感知后，其电桥输出会发生变化，变化的幅度与被测压力成正比。传感器的电路能够保证应变电桥电路的供电，并将应变电桥的失衡信号转换为统一的电信号输出（0-5，4-20mA或0-5V）。在绝压压力传感器和变送器中，蓝宝石薄片，与陶瓷基极玻璃焊料连接在一起，起到了弹性元件的作用，将被测压力转换为应变片形变，从而达到压力测量的目的。

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