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俏君

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发表于：2003-10-22 23:47:00

楼主

请教：MEMS真空封装后真空腔体中的真空度怎么测量呀腔体尺寸很小：10mm*10mm*4mm 真空度范围：最低10-3左右

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yoko

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发表于：2003-10-14 10:21:00

1楼

可以用压力变送器测量绝压值。 YOKO

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俏君

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发表于：2003-10-14 10:31:00

2楼

请问：压力变送器怎么和我的小腔体连接呀？

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绝版

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发表于：2003-10-15 08:43:00

3楼

可以用0.7 个的毛细管连接绝压传感器变送器与你的小腔体用此管连接如有需要可联系 010-65688563 邱兆雨

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松子111

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发表于：2003-10-16 00:14:00

4楼

还是先把眼睛瞪大，把问题搞清楚，然后再给出恰如其分的建议吧 ------看清楚了，要测的是10的-3次方Pa，请问那家的绝压变送器能检测这样的绝压呀？？？？？？？？？

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俏君

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发表于：2003-10-16 08:30:00

5楼

我也觉得奇怪呀请问还有什么别的建议呀，谢谢先！

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绝版

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发表于：2003-10-16 08:30:00

6楼

真空度范围：最低10-3左右不好意思，这代表10的-3次方Pa？搞不懂！报歉！谢谢提醒！

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俏君

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发表于：2003-10-16 08:31:00

7楼

我的意思是10的-3次方Pa，抱歉

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松子111

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发表于：2003-10-16 14:27:00

8楼

请将测量所要求的精度、信号输出方式、以及您要测的腔体的材料、可能还会涉及您的封装工艺等等，告诉我或联系我吧，或许我能帮您找到恰当的测试方法。 EMAL：885588@126.COM 029-7785899

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俏君

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发表于：2003-10-16 15:22:00

9楼

谢谢老万的帮忙我给您发mail了，请您帮我出出注意谢谢

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松子111

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发表于：2003-10-18 21:33:00

10楼

俏君：您的邮件我看了，改装电离真空计结构及开发有关软件，配合恰当的装备可以完成您的测试不过解决这样特殊的工艺测试问题我是要通过我们公司收费的，不知我这样说您是否会生气？？？技术方案设计费二万元，如果由我们直接开发成仪器产品共计6 万元。（不含电离真空计，不含税费，税费需另外计算）。

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松子111

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发表于：2003-10-22 23:47:00

11楼

电话全对，029-7785899 5233197 5397110。好好动动脑筋吧，或许问题就迎刃而解了，实在没辙了再联系我吧，我们95年解决过类似问题，

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