2013年7月5号，正常运行的真空镀膜机突然圆柱靶水管爆裂，大量的了冷却水直接喷射到电源控制柜！三菱触摸屏全部进水，三菱PLC也是一样！ 

      下图是被水淋湿的分子泵电源！之后我们拆开用压缩气体吹干水，并烘干！带开机试运行!

       这是进了水的真空测量计，拆开用压缩气体吹干水，并烘干！带开机试运行!

    这是进了水的转架电机变频器，三菱的！拆下，烘干，待开机试运行！

    这是真空测量计的另一面，进水严重，拆开烘干，待开机试运行！

    这是四路流量控制器，进水严重，拆开，烘干，待开机试运行！

    四路流量控制计的另一面！

    全部仪器进水总拍！进水严重

    控制柜全部进水，断电时候，听见霹雳拍拉的声音！

    控制柜全部进水，断电时候，听见霹雳拍拉的声音！

    三菱PLC进水！暂不知道有没有烧坏模块！

    正在用风扇吹干控制柜！

    角落瞎拍！

    截至7月6号上午，进水控制柜，进水仪器，水全部清干，把拆下的设备装回检查外围电路没有烧坏，短路，外围零件没有异常，通电，发现PLC的CPU报错，分子泵电源输出报警，触摸屏与PLC无法通讯，真空测量计正常，四路流量控制器正常。

PLC的CPU模块报警，经检测，模块烧坏2个，一个Q00CPU,一个Q68ADV模块，更换CPU ,更换模拟量模块，发现触摸屏与PLC能正常通讯，但是CPU模块还是一直在报警，编程软件检测CPU模块异常，其他OK,7月6号下午7点半下班没搞好，7月7号休息，只能7月8号礼拜一搞了，最关键的问题是原来的CPU模块烧坏与编程软件通讯不了，程序无法下载，这才是关键，怎么搞，待续！

7月8号礼拜一，上班厂家的工程师过来了，给PLC上电检测，编程软件一检测，还是继续报错，我们从其他机器上拆下一个一样的CPU,程序与烧坏的一样，运行没有报警了，开机我们先手动运行，检查发现输入输出正常，再转到自动运行，直到下班，设备已经正常做货了！下面是损害的CPU模块！

    损坏的 三菱Q00CPU

    拆开了！

        维修总结：造成控制柜进水损坏主要原因是控制柜的侧门全部拆了，没有防水的侧门。爆水管是由于水管老化，没有及时的发现更换，平时巡查设备不仔细。整改把所有设备的电气控制柜的侧门全部检查，发现没有的及时安装，发现没有关到位的，及时关好，再就是电气控制柜定期用干燥的压缩空气除尘，检查散热风扇是否运行，保证散热正常，巡查时认真仔细，发现隐患及时汇报，及时处理。此次由于控制柜进水，导致机器停产60小时左右，损坏PLC两个模块（Q00CPU一个，Q68ADV模块一个），还有就是机器厂家工程师维修免费，但是需要购买配件。在以后的工作中，要避免此类事故再次发生。